；1級(jí)：0.05um；2級(jí)：0.1um

7

、工作面對(duì)基準(zhǔn)面的垂直度： 0級(jí)：5″；1級(jí)：10″；2級(jí)：20″

8

、工作面表面粗糙度：Ra≤0.025um

9

、上表面與基準(zhǔn)面平行度：2um

10、工作角偏差： 0級(jí)：±1″  1級(jí)：±2″  2級(jí)：±5″

11

、工作角測(cè)量不確定度：0級(jí)：0.2″  1級(jí)：0.5″  2級(jí)：1.0″

12

、工作面有效工作面積：S≥φ15mm的圓面積

二、棱體使用說明：

      棱體一般要與自準(zhǔn)直儀配合使用

。以自準(zhǔn)直儀的光軸模擬工作面的中心法線。

由于棱體存在著工作面平面度誤差和工作面與定位面的垂直度誤差，為了保證精度

，在使用棱體時(shí)，請(qǐng)注意以下幾方面的安裝調(diào)整。

1. 棱體的回轉(zhuǎn)中心應(yīng)與被測(cè)裝置的回轉(zhuǎn)中心盡可能重合

，高精度檢測(cè)時(shí)應(yīng)小于0.02mm。

2. 自準(zhǔn)直儀的光軸應(yīng)垂直于被測(cè)裝置的回轉(zhuǎn)的軸線，并應(yīng)盡量通過回轉(zhuǎn)軸線